Vakuumprozesse, industrielle Plasmaprozesse

Für Sauerstoffmessungen in Plasmen und Prozessgasen, die nicht unter Normaldruck ablaufen (Beschichtungsverfahren, Oberflächenbehandlungsprozesse, materialwissenschaftliche Untersuchungen), wurde die ZIROX-Vakuumsonde entwickelt. Als typische Beispiele für Beschichtungsverfahren gelten Sputtern oder Zerstäuben, thermische Verdampfung, Elektronenstrahlverdampfung, Hohlkathodenverdampfung, Vakuumlichtbogenverdampfung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) sowie deren plasmaunterstützte oder auch metallorganische Form PECVD und MOCVD.

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