Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie benötigt zuverlässige Messmittel zur Qualitätssicherung. Die ZIROX-Produktpalette, insbesondere das SGM5, eignet sich besonders zur schnellen Bestimmung von Sauerstoffspuren und zur Reinheitsüberwachung der eingesetzten Schutzgase (Stickstoff, Argon). Des Weiteren können aufgrund der driftfreien Technologie Langzeituntersuchungen zur Sauerstoff-Permeation oder zu Sauerstoff-Austauschreaktionen an verschiedensten Werkstoffen vorgenommen werden.