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Vakuumfeste Sauerstoffsonde

Allgemeine Informationen

Als Sensorelement dient eine potentiometrische ZrO2-Zelle.

Dabei wird die Sauerstoffionenleitung des Zirkoniumdioxids bei hohen Temperaturen ausgenutzt. Das Sensorelement ist als Rohrzelle aufgebaut.
Im Inneren des geschlossenen Rohres befindet sich neben einer elektrischen Heizung die Referenzelektrode, die mit Luft als Referenz bespült wird.
Die Messelektrode befindet sich auf der Außenseite des ZrO2-Rohres.

Die Spannung der Elektroden ist proportional dem Logarithmus der Sauerstoff-partialdruckdifferenz an den Elektroden.

 

Im Anschlusskopf der Sonde ist die gesamte Elektronik für die Heizungsregelung und die Signalvorverarbeitung untergebracht. Weiterhin enthält er eine Membranpumpe,
die die Referenzelektrode mit Luft versorgt. Die Heizung wird auf 700 °C geregelt.

Das Ausgangssignal 0 ... 20 mA ist proportional der Zellspannung.

Einsatzgebiete

  • O2-Messung in Vakuumanlagen (PVD oder Magnetron-Sputtern)
  • Prozessüberwachung in Niederdruckanlagen

Hinweis

Im Gegensatz zu Sonden, die unter Normaldruck eingesetzt werden, sind die
Vakuumsonden nicht kalibrierfrei, weil durch die druckabhängige Abfuhr der Heizenergie keine isothermen Messelektroden realisierbar sind, was Voraussetzung für die Anwendung der Nernstgleichung ist. Die Sonden müssen durch den Anwender mittels Testmessungen kalibriert werden.

Technische Daten Vakuumsonde

Länge

140...300

Durchmesser

6 mm, mit Schutzrohr 16 mm

Masse

1,5 kg

Abmessung Klemmkopf

150 x 63 x 35 mm

Schutzgrad

IP54

Einbaumöglichkeiten

KF40, andere auf Anfrage

Max. Temperatur am Flansch

60 °C

Betriebsspannung

24 V DC +/- 10 %

Stromaufnahme

1,2 A

Heizleistung

30 W

Druckbereich

1,5 x 105...1 x 10-5 Pa

Sensorspannungsbereich

0...400 mV oder 0...1200 mV
(Bereichsumschaltung auf Platine)

Messbereich
(Sauerstoffpartialdruck)

1 x 105...1 x 10-21 Pa

Ausgangssignal

0-20 mA

Genauigkeit

< 5 % rel. Fehler

Betriebstemperatur des Sensors

700 °C (elektronisch geregelt)

Offset (mit Schutzhülse)

-15...-20 mV

He-Leckrate

< 10-8 mbar l/s

Strömungsgeschwindigkeit Messgas

max. 10 m/s

Referenzgas

Luft

Referenzgasmenge

5...10 l/h (durch interne Pumpe)



Steckerbelegung
(Typ 423 6pol., Fa. Binder, Best.-Nr.: 99-5622-15-06):

1

+ 24 V

2

GND

3

+ IA

20 mA entsprechen 400 oder
1200 mV (je nach Einstellung)

4

- IA

5

Ready Kontakt
(potentialfrei)

60V/1A DC oder
125V/1A AC

6

Download Datenblatt 

 

Hinweis: Sie sind sich nicht ganz sicher, welches unserer Geräte Sie für Ihren Einsatz benötigen?
Dann füllen Sie bitte unseren Fragebogen aus und senden ihn per Fax an die +49 3834 83 09 29

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