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Aktive Thermosonde

Allgemeine Informationen

Zur Optimierung von Plasma-Oberflächenmodifizierungen mit Hilfe der kontinuierlichen Messung des Energieeintrages

 

Bei allen Plasma-Oberflächenmodifizierungen ändern sich die am Substrat ablaufenden Prozesse und Reaktionen wesentlich mit der Energie der ankommenden Teilchen. Diese Energie bildet zusammen mit weiteren Anteilen den gesamten Energieeintrag, der die gewünschten Substrateigenschaften beeinflusst.

Die Firma ZIROX hat in Zusammenarbeit mit der NEOPLAS GmbH und dem Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. eine Sonde entwickelt, die den tatsächlichen Energieeintrag am Substrat als maßgeblichen Parameter kontinuierlich und richtungsabhängig misst und somit eine Korrelation mit den Schicht- und Oberflächeneigenschaften ermöglicht.

 

Auf Grund der sehr empfindlichen Reaktion auf Änderungen der Prozessparameter ist die Aktive Thermosonde besonders zur kostengünstigen Qualitätssicherung in industriellen Prozessen oder zur Beantwortung spezieller Forschungsfragen geeignet.

 

Die Aktive Thermosonde ist vakuumtauglich und temperaturbeständig bis 450 °C. Es sind Energieeinströme bis 2+/- 0,001 W/cm2 messbar. Die variable Gesamtlänge ermöglicht eine kundenspezifische Ausführung.

Download Funktionsbeschreibung (engl.)

 

Hinweis: Sie sind sich nicht ganz sicher, ob die Thermosonde für Ihren Einsatz geeignet ist? Dann kontaktieren Sie bitte die Neoplas GmbH.

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