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Vakuumprozesse, industrielle Plasma-Prozesse

Für Sauerstoffmessungen in Plasmen und Prozessgasen, die nicht unter Normaldruck ablaufen (Beschichtungsverfahren, Oberflächenbehandlungsprozesse, materialwissenschaftliche Untersuchungen), wurde die ZIROX-Vakuumsonde entwickelt. Als typische Beispiele für Beschichtungsverfahren gelten Sputtern oder zerstäuben, thermische Verdampfung, Elektronenstrahlverdampfung, Hohlkathodenverdampfung, Vakuumlichtbogenverdampfung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) sowie deren plasmaunterstützte oder auch metallorganische Form PECVD und MOCVD.

 

Mehr Informationen zum Thema Aktive Thermosonde finden Sie auf unserer Internetseite.

 

 

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