Für Sauerstoffmessungen in Plasmen und Prozessgasen, die nicht unter Normaldruck ablaufen (Beschichtungsverfahren, Oberflächenbehandlungsprozesse, materialwissenschaftliche Untersuchungen), wurde die ZIROX-Vakuumsonde entwickelt. Als typische Beispiele für Beschichtungsverfahren gelten Sputtern oder zerstäuben, thermische Verdampfung, Elektronenstrahlverdampfung, Hohlkathodenverdampfung, Vakuumlichtbogenverdampfung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) sowie deren plasmaunterstützte oder auch metallorganische Form PECVD und MOCVD.