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Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie benötigt zuverlässige Messmittel zur Qualitätssicherung. Die ZIROX - Produktpalette, insbesondere das SGM5, eignet sich besonders zur schnellen Bestimmung von Sauerstoffspuren und zur Reinheitsüberwachung der eingesetzten Schutzgase (Stickstoff, Argon).

Des Weiteren können aufgrund der driftfreien Technologie Langzeituntersuchungen zur Sauerstoff-Permeation oder zu Sauerstoff-Austauschreaktionen an verschiedensten Werkstoffen vorgenommen werden.

 

 

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